技术编号:14958237
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于压力传感器的传感器元件。本发明还涉及一种用于制造用于压力传感器的传感器元件的方法。背景技术压阻式压力传感器通常由具有膜片的传感器元件(英语为sensor-die)组成。例如四个应力敏感的压阻位于该膜片上,所述压阻连接为桥式电路。温度梯度作用在传感器元件上,这意味着,压阻由于不同的温度而具有不同的阻值。这可以导致桥式电压由于温度梯度的变化,该变化不能与桥式电压由于作用压力的变化区分开。在此,若干毫开尔文已经可以导致桥式电压的偏差,该偏差相应于几帕斯卡的压力变化。发明内容本发明的任...
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