加速度测量仪和制造这种加速度测量仪的方法与流程技术资料下载

技术编号:14958368

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本发明涉及一种根据独立权利要求前序部分的加速度测量仪以及一种用于制造这种加速度测量仪的方法。背景技术专利文献CH399021A描述了一种加速度测量仪,其具有压电系统、振动质量、预紧套筒和基板。压电系统借助于预紧套筒在振动质量和基板之间被机械预紧。在加速期间,振动质量在压电系统上施加与其加速度成比例的力。通过这样的机械预紧,不仅能够检测正加速度,还能够检测负加速度。所述的力又在压电系统中产生压电电荷,这些压电电荷可以作为加速度信号被电性地导出。该加速度信号与力的大小成比例。被电性地导出的加速度信号...
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