技术编号:14959529
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种为了相对于输送空间搬入搬出晶圆等被处理物而载置用于收纳该被处理物的容器的装载端口。背景技术上述的容器存在被称作FOUP(Front-Opening Unified Pod)的具有可开闭的盖的密闭型的容器、被称作开放式匣的开放型的容器。在这些容器的内侧设有多层的架板,晶圆等多个被处理物在上下方向上隔开恒定的间隔地以水平姿势收纳在该容器中。在此,一般来讲,装载端口具有映射功能这样的功能。映射功能是检测收纳于容器内的晶圆等多个被处理物在各层的有无、倾斜等收纳状态的功能。作为关于上述的映射...
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