技术编号:14959637
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具备薄膜晶体管(TFT)的半导体装置、显示装置以及半导体装置的制造方法。背景技术具备按每个像素设置有开关元件的有源矩阵基板的显示装置已得到广泛应用。具备薄膜晶体管(Thin Film Transistor:以下,称为“TFT”)作为开关元件的有源矩阵基板称为TFT基板。此外,在本说明书中,有时将与显示装置的像素对应的TFT基板的部分也称为像素。近年来,已提出使用氧化物半导体代替非晶硅、多晶硅来作为TFT的活性层的材料。将这样的TFT称为“氧化物半导体TFT”。氧化物半导体具有比非晶硅高...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。