技术编号:14962794
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学品输送机构领域,特别是涉及一种移动式化学品输送机台。背景技术随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化,其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程后端化学品废液回收系统,回收酸碱废液中多种贵金属,涉及到多种危险化学品输送和应用,此类化学品都具有高危害性,高腐蚀性。现有的机台均为大型固定式,当需要改变整体布局时,移动很不方便。实用新型内容本实用新型主要解决的技术问题是提供一种移动式化学品输送机台,采用移动设计,可推至合适区域,接入临时电...
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