技术编号:14964314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微电子机械系统领域,特别是涉及一种微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法。背景技术气相色谱仪是一种重要的分析仪器,其应用十分广泛。传统的气相色谱仪由于体积大、功耗高、重量重,一般只能在实验室内使用。然而,在当前环境安全、生产安全、食品安全、公共安全监测等方面需要对复杂气体组份进行实时、现场、快速检测,急需研发一种微型气相色谱仪。色谱柱和热导检测器是气相色谱仪的两个关键部件,国内外相关研究小组一般采用MEMS技术,将色谱柱、热导检测器芯片化,最终实现气相色谱仪的微型化。色谱柱芯片...
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