技术编号:14979927
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于沉积制造光纤预制棒的等离子体化学气相沉积法的沉积装置,也即PCVD沉积装置,属于光纤预制棒加工设备技术领域。背景技术光纤通信技术已成为现代化通信极其重要的支柱。近几年,随着互联网的发展和网络带宽需求增大对光纤的需求迅猛增加,迫切需要提高光纤制造的生成速率,降低光纤生产成本,并提高光纤的加工质量。在PCVD沉积制备光纤预制棒过程中,采用微波源为磁控管,中心频率为2.45GHz或915MHz。玻璃衬管插入金属谐振腔,衬管一端通有反应气体,衬管另一端接真空泵使衬管内维持低压,整个衬管...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。