技术编号：14983141
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种密封装置，具体地一种用于在真空泵壳体和电子驱动器壳体之间密封的密封装置。背景技术涡轮分子泵（TMP）被用在诸如质谱仪和扫描电子显微镜的许多设备中，以实现设备正确地操作所需的低压力。容纳操作涡轮分子泵马达和内部电子设备所需的电子驱动器的壳体能够定位成或者远离TMP罩壳，或者直接连接到TMP罩壳。随着电子电路变得更小，更多的TMP被制造成驱动器壳体直接连接到TMP罩壳。为了保护被容纳在壳体内的驱动器电子设备免受来自周围环境的颗粒和湿气的影响，密封元件必须定位于驱动器将附接于其的涡轮分子...
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