技术编号:14989587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体加工技术领域,具体地说是一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置。背景技术图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrates, PSS)是产业界所采用的一种提高GaN基LED器件发光效率的有效方法。目前,PSS主要是由光刻技术结合等离子体(ICP)干法刻蚀技术制备实现。通常,在对蓝宝石衬底进行等离子体干法刻蚀过程中,一般使用托盘装置来固定、支撑并传送蓝宝石衬底进入ICP设备腔体内,避免蓝宝石衬底在刻蚀过程中出现移动或错位现象。此外,在整个工艺过程中,托盘...
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