技术编号：14992568
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及离子源，更特别地涉及一种碰撞电离离子源。背景技术带电粒子显微镜是众所周知且日益重要，其特别以电子显微镜的形式用于使微观物体成像的技术。历史上，电子显微镜的基本属性已经演变成众多已知的设备种类，例如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)，并且还演变成各种子类，例如所谓的“双光束”工具(例如，FIB-SEM双束显微镜)，其另外使用“加工”聚焦离子束(FIB)，允许诸如离子束铣或离子束诱导沉积(IBID)的辅助性活动。在SEM中，通过扫描电子束...
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