技术编号：14992573
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于处理基板的基板处理方法及基板处理装置。作为处理对象的基板包括例如半导体晶片、液晶显示装置用基板、有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示装置等的FPD(Flat Panel Display：平板显示)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等基板。背景技术在逐个处理基板的单张式基板处理装置的基板处理中，例如，对由旋转卡盘大致水平地保持的基板供给药液。然后，对基板供给冲洗液，由此，基板上的药液被置换为冲洗液。然后，...
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