技术编号:14992789
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种射频MEMS开关结构,尤其涉及一种应用于射频领域的大功率MEMS开关。背景技术射频MEMS(微电子机械系统)开关是射频MEMS领域中较为重要的一个分支,它是利用MEMS技术制作的一种射频开关,通过微机械结构的运动,来达到控制信号的通与断的目的。由于射频MEMS开关的高隔离度、低损耗、高线性度等优势,使其在雷达、通信、测试仪器等领域有着广泛的应用前景。但传统射频MEMS开关较低的功率容量是限制其应用的主要瓶颈之一。对于射频MEMS开关,其功率容量是指使开关完成一定循环次数而不发生失效...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。