技术编号:15012409
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及特殊气体输送技术领域,具体涉及一种全自动特殊气体四瓶供应柜。背景技术在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体,其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高,一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏,将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断,其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示,特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。