技术编号:15013039
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于单晶硅生产设备技术领域,尤其是涉及一种随动冷却装置。背景技术全球所生产的太阳能电池有80%以上是使用晶体硅,其中单晶硅约占40%,单晶硅最大的优势就是其转换效率高,但是生产成本较高,由于传统的单晶硅生成加工企业生产水平较低,生成技术水平不高,最终造成单晶硅生产效率低、成本高,这极不利于单晶硅生成加工企业的发展,因此单晶硅生成加工企业也在探索提高生成效率、降低成本的单晶硅生产方法。直拉单晶(CZ)法的热场是由石墨件系统、单晶炉冷却系统、氩气系统组成的一套复杂的单晶生长系统。正常情况下直拉...
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