技术编号:15018518
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于功率半导体器件可靠性领域,具体涉及三端口碳化硅基功率器件的界面态测试方法。背景技术随着汽车工业和便携式电子系统对功率器件性能和可靠性要求的提高,三端口碳化硅基功率器件因其高输入阻抗、低驱动功率、高开关速度以及很好的热稳定性等特点脱颖而出。作为开关器件时,碳化硅基功率器件需要频繁的进行开通和关断,在开关过程中,电流电压变化幅度巨大,在电路寄生参数的影响下会出现电流电压过冲,造成器件击穿、器件的界面特性变差,器件的界面特性严重影响着器件的性能,例如阈值电压、开关速度等,因而能够准确地测量三...
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