技术编号：15018527
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及半导体激光芯片技术领域，更具体地，涉及一种GaN基半导体激光芯片检测装置与方法。背景技术GaN基半导体激光芯片在使用的过程中，由于电流应力与温度应力的存在，可能会直接或间接导致有源区出现损伤进而产生失效区域，同时，芯片的前腔面也可能出现灾变性光学损伤，进而使芯片出现可靠性降低。近年来，GaN基半导体激光芯片的应用市场越来越广泛，但同时对其的使用条件也越来越苛刻，可靠性要求也越来越高。因此若出现性能降低以致失效，需及时对其进行有效检测，同时对失效区域的进行定位，为下一步的微区分析切...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。