高亮度ITO薄膜LED芯片及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:15021971

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本发明属于半导体发光二极管技术领域,具体涉及一种高亮度ITO薄膜LED芯片。背景技术LED具有光效高、能耗低、寿命长、安全环保等优势,是一种具有广阔应用前景的照明方式,受到越来越多国家的重视。目前LED已广泛应用于高效固态照明领域中,如显示屏、汽车用灯、背光源、交通信号灯、景观照明等。如图1所示,常规具有ITO薄膜结构的AlGaInP发光二极管包含GaAs衬底100、缓冲层101、n-AIGaInP限制层102、MQW多量子阱有源层103、p-AIGaInP限制层104和p-GaP窗口层105、...
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