技术编号:1504478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶圆清洗设备,特别涉及一种晶圆清洗设备的滚轮装置。背景技术参阅图1与图2,一种以往晶圆清洗设备的滚轮装置1,包括一个长向延伸且可被 带动而旋转的轴杆11、多个彼此间隔地安装在该轴杆11外围的滚轮单元12及多支分别将 滚轮单元12固定在轴杆11上的插销13。每一滚轮单元12包括一个套置在该轴杆11外围 的轮体121及二个分别嵌置在轮体121外围的0型环122。每一支插销13都紧配合地穿 插伸入轮体121与轴杆ll,借以将轮体121与轴杆11...
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