技术编号:15044847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器感应芯片领域,尤其是智能氮氧传感器感应芯片。背景技术目前已有的氧化锆电流型氮氧传感器芯片是由NGK公司生产的(详见专利US20090242400),其由六层氧化锆基板构建而成,如图1(a)所示。该芯片从结构上含有第一测量腔、第二测量腔、参比空气通道和加热单元,第一测量腔和外界之间以及第一和第二测量腔之间设置有扩散障碍层。该芯片NOx测量部分由主泵、副泵和测量泵组成。在工作时,汽车尾气经过扩散障碍层散到第一测量腔,尾气中HC、CO、H2在第一测量腔被氧化,主泵通过反馈调节维持副泵泵...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。