技术编号：15050564
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及由硅光波导形成的硅光路。更详细而言，涉及用于对波导上产生的划痕进行晶圆级检测的硅光路。背景技术近年来，将硅集成电子回路的制造技术应用于光波导等的形成中，并且能使光路急速地小型化的硅光子技术的研发正在盛行。虽然作为基于硅光子技术的硅光路，提出了具有各种功能的回路，特别是朝着实际应用而正在进行开发的则是光收发器的领域。图27A和图27B是表示光调制回路的典型构成来作为现有技术的硅光路的第一例的图。图27A、图27B中的光路9100-1、9100-2分别是主要应用于面向长距离传输的光收发器的...
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