技术编号：15062722
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。各种实施方式总体上涉及微机电式麦克风。背景技术微机电式麦克风在现代通信中已经变得非常重要。在微机电式麦克风的制造中，一个重大的挑战是要制造出具有明确定义形状的组件，并且该组件以明确定义的方式相对于彼此地进行布置。这种情况下的本质上的问题是机械应力或热应力，麦克风组件经受该机械应力或热应力并且该机械应力或热应力可能导致这些组件的变形，这又使得难以进行微机电式麦克风组件的明确定义的相对定位。这样的应力可能具有固有原因，并且可能是由于制造过程中的热负荷以及机械负荷而导致。备选地或附加地，这样的应力可以...
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