位置敏感的光电子检测器装置、以及使用位置敏感的光电子检测器装置的激光束接收器的制作方法技术资料下载

技术编号:15071232

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本发明涉及前序部分所述的关于用于光束接收的空间分辨的位置敏感的光电子检测器装置。位置敏感的光电子检测器装置如今已在各个领域中得到采用。与该术语几乎同义的是横向效应光电二极管(因此也常常被称为位置敏感的二极管/器件或简称为PSD),多年来其已经成为现有技术的一部分。这些组件由具有电阻层的光敏PIN半导体二极管芯片的非常简单的结构组成,该电阻层可被用来在芯片的边缘处的两个(1D PSD)或四个(2D-PSD)电极之间横向地划分光电流,这取决于优选点光束的入射点。根据所述电极的电流比值,随后可以相对独...
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