技术编号:1509873
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学加工,特别涉及一种零疵病光学零件加工过程中的清洗方法,该方法适用于精密光学零件每个面抛光完成后的成盘清洗,目的在于提高光学零件的表面疵病等级。背景技术超精密加工技术能力已经成为当今国家科技水平的一个重要体现,当超精密加工达到亚纳米量级时,其表面的清洁程度成为了一项重要的技术指标,目前应用于该领域的清洗方法很多,有溶液溶解、微腐蚀法和超声法、兆声法、等离子法等,但这些清洗方法均是针对光学零件成品的清洗方法,当某些微细加工辅料,如抛光粉的吸附能力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。