技术编号：15101913
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高精度流体推动装置尤其包括芯片实验室、打印头和数字滴定设备。流体推动装置可以包括适于使流体移动通过小(例如微米尺寸的)流体通道的MEMS。此MEMS可以包括硅衬底和沉积在该衬底上的薄膜层电路系统。例如通过减小厚度、宽度和/或长度等来减少流体推动装置中的硅的量可能是有利的。减小硅衬底的宽度和/或长度可以有助于从单个晶片提取更多MEMS衬底。减小硅衬底的厚度可以允许更便宜的晶片。一般来说，减少MEMS中的硅的量可以降低成本。附图说明图1示出流体推动装置的示例的图示；图2示出流体推动装置的另一示例的图...
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