技术编号:15102959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于容纳片状衬底、尤其太阳能电池以用于在处理装置中对衬底进行处理的设备,尤其是等离子体舟(Plasmaboot)。背景技术现有技术中已知并描述了被设计并配置成能够在例如等离子体CVD系统或诸如此类系统中涂覆多个衬底的设备。这类设备也被称为等离子体舟。所述等离子体舟例如在以氮化硅减反射涂层、掺杂和/或未掺杂的氧化硅和/或多晶硅对太阳能电池进行涂覆时使用。为了借助用于等离子体辅助的气体沉积方法对太阳能电池进行涂覆,在此将太阳能电池紧固在等离子体舟上。为此,等离子体舟通常包括多个平行安排...
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