技术编号：15104324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2015年10月8日提交的欧洲申请15189024.1和2016年9月12日提交的欧洲申请16188375.6的优先权，上述欧洲申请的全部内容以引用的方式并入本文中。技术领域本发明涉及基于针对经过处理的产品单元所测量的性能参数通过反馈来控制工业过程的方法。该方法已经被开发的工业过程的示例是光刻过程，该光刻过程包括使用光刻设备将图案从图案形成装置转移至衬底上的一个或更多个步骤。本发明还涉及用于工业过程的控制设备，并且涉及使得数据处理设备实施所描述的方法及设备的计算机程序产品。背景技术光...
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