技术编号:15107492
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气体切换系统,特别是一种能依据所接收不同信号,以进行气体切换的气体切换系统。背景技术晶圆片属于高精密的组件,因此,现今晶圆片多是利用晶圆盒(FOUP)承装及运送,且相关厂商为了维持晶圆片的稳定,多会于晶圆盒中填充特定气体,例如氮气(N2)或是超洁净气体(XCDA)。然,在晶圆盒被开启以取出晶圆片、置放晶圆片、待传送前等的过程中,晶圆盒中的环境状态例如温度、湿度,可能受外部环境影响,进而可能会影响晶圆片。因此,如何避免晶圆片在运送或是被作业的过程中,受外部环境影响成为了相关厂商极...
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