技术编号:15112003
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及涂敷装置和涂敷方法。背景技术在现有技术中,已知作为利用有机EL(Electroluminescence)发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED:Organic Light Emitting Diode)。使用了有机发光二极管的有机EL显示器,不仅具有薄型轻质并且低耗电量的优点,而且还具有在响应速度、视场角、对比度等方面优越等的优点。因此,近年来,作为新一代的平板显示器(FPD)引人注目。有机发光二极管包括:形成在基片上的阳极;以阳极为基准设置于基片的背面侧的阴极;和设置在阳极与阴极...
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