技术编号:15112091
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硅片清洗技术领域,特别是涉及一种用于硅片夹持的夹具机头。背景技术在传统的硅片清洗技术中,通常是将硅片放置在硅片清洗花篮内进行清洗,但是硅片清洗花篮对硅片具有一定遮挡作用,导致硅片清洗不干净不彻底,因此需要依靠夹爪将硅片夹持起来。因为硅片较薄,精度较高,在夹持硅片时夹爪对硅片的夹持必须准确,如果夹爪对硅片夹持过紧,则容易对硅片造成损伤,如果夹爪对硅片夹持过松,则容易出现夹持不牢现象。发明内容针对现有技术中存在的不足,本发明的目的是提供一种用于硅片夹持的夹具机头,用于解决夹爪对硅片夹持不准...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。