技术编号：15113809
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种碳纳米管/铜高载流复合导线及其制备方法，具体涉及一种大电流载流能力的铜和碳纳米管构成的纳米复合导线及其制备方法，属于纳米材料领域。背景技术近几十年来，随着半导体工业制程技术的进步，晶体管的尺寸越来越小，单位面积芯片上集成的晶体管数目越来越多，造成芯片的功率需求越来越高。高功率的芯片供电目前主要是通过铜导线进行供电，晶体管尺寸减小时，铜导线的尺寸也在逐步减小，限制了芯片功率的持续提升。国外研究机构提出将碳纳米管与铜制备成均匀的复合材料，通过碳纳米管限制多晶铜导线中铜原子晶界及表面的电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。