技术编号:1512642
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在处于减压状态的容器内,由高频电压产生等离子,由该等离子将设置在容器内的被处理物清洗的等离子清洗装置。等离子清洗装置以电子领域为首,在很多领域中,用于除去在金属、绝缘物、以及其他的各种物品的表面附着的污染物质,使表面活化,增加表面的潮湿度等目的。背景技术 等离子清洗装置,在真空容器中导入处理气体,并减压到低于大气压,在与高频电源连接的活性电极与接地的地线电极或容器之间施加高频电压使之产生等离子,由这个等离子将设置在容器内的被处理物质进行清洗处理,...
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