技术编号：15139706
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微型真空计及其工作方法。背景技术真空计是用于测量低于一个大气压的气体的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量,在科研和工业生产中广泛应用。历经三百多年的发展，如今的真空计种类繁多，液态式真空计、电容薄膜式真空计、谐振式真空计、热传导式真空计、电离式真空计等。同时，测量范围以及测量精度得到极大的提高。微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是一项革命性的新技...
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