技术编号：15141997
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及飞秒激光直写弯曲波导，特别是一种减小直写波导弯曲损耗的方法。背景技术飞秒激光以其加工精度高、热效应小、损伤阈值低和可以对透明材料实现三维微加工等优点在当代微纳制造领域中独树一帜，它提供了一种全新的制备大规模、复杂三维微结构的方法。光波导作为集成光学中最基本的组成单元，不仅可以实现数据传送，还可以提供非线性，主动增益等特殊功能，是实现各种光子功能器件的基础。飞秒光刻波导是近年来新兴的一种光波导制作技术，相对于传统的波导制作工艺，它具有工艺设备简单，成本低等特点，而且可以灵活制作三维结构的...
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