一种复合节流式静压气浮电主轴的制作方法技术资料下载

技术编号:15145674

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本发明涉一种复合节流式静压气浮电主轴,属于超精密静压气体润滑领域。背景技术:气浮轴承是用气体作润滑剂,利用气体的粘性,提高间隙中气体的压力,从而将轴悬浮起来的轴承。与常规油质润滑轴承相比,它具有摩阻极低、噪声小、精度高、寿命长、适用温度范围广、适用速度范围大等良好的特性。因此广泛应用于国防、新能源、机床及医疗等行业,尤其是在高速回转机械和超精密仪器技术领域更有明显的优越性。现有技术的静压气浮轴承中,往往只采用一种单一的节流方式,以小孔节流或者多孔质材料节流为主。其中采用小孔节流方式的气浮轴承是气...
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