技术编号:1514658
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种工业自动清洁烘干系统,具体涉及一种多晶硅还原炉及氢化炉炉筒自动清洗烘干系统。背景技术多晶硅产业是一种新兴的能源产业,钟罩又称炉筒,在多晶硅生产工艺中,还原炉以及氢化炉钟罩的清洗和烘干是不可缺少的环节。通常的清洗过程包括清洗和烘干两个过程,过去以人工清洗为主,不安全,不环保,清洗的一致性也难以保证,清洗效果差,自动化程度低,效率不高。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是现有多晶硅还原炉及氢化炉钟罩的清洗烘干不安全,不环保,不具有一致性和均...
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