技术编号:15149236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,具体涉及超结构LED芯片技术领域,尤其涉及一种超结构LED芯片及该超结构LED芯片的制备方法。背景技术发光二极管(Light Emitting Diode,简称LED)具有节能、环保、寿命长、体积小等特点,已被广泛应用于室内照明、显示、交通指示等多个领域。近年来,垂直LED芯片由于克服了传统横向结构在效率、散热、可靠性等方面的技术瓶颈,成为了LED技术的主流趋势。垂直LED芯片通常包括衬底(基座)以及设于衬底上的发光层级结构,发光层级结构包括由n型GaN层、多量子阱发光...
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