技术编号：15150763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。示例涉及用于膜构件的制造技术，更具体地涉及膜构件和形成膜构件的方法。背景技术制造膜构件(例如麦克风，压力传感器或加速度传感器)通常包括多个成本高昂的工艺步骤。可以期望提供具有长寿命的成本低廉的膜构件。发明内容具有更长的使用寿命和/或改善的电特性的膜构件可能需要成本更低的方案。能够通过本发明的主题覆盖该需求。一些示例涉及膜构件。膜构件包括具有导电膜层的膜结构。导电膜层具有悬置区域和膜区域。另外，导电膜层的悬置区域布置在绝缘层上。此外，绝缘层布置在承载基体上。此外，膜构件包括对电极结构。在对电极结构...
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