技术编号:15158720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于氮化硅生产技术领域,具体涉及一种氮硅烷及其生产方法、氮化硅及其生产方法。背景技术氮化硅具有机械强度高、自润滑、热稳定性好、化学稳定性好等优点,在高温、高速、强腐蚀介质和高磨损等特殊工作环境中,具有广泛的应用。已经商业化应用的氮化硅粉体制备技术有四种:(1)硅粉直接氮化法,包括低压高温氮化和高压自蔓延氮化;(2)碳热还原法,由二氧化硅和碳粉在氮气中发生氧化还原反应生成氮化硅;(3)低温卤硅烷法,由四氯化硅或三氯氢硅等卤硅烷和氨在低温下生成氮硅烷中间产物,然后再将氮硅烷中间产物热解为氮化硅...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。