技术编号:15162250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力传感器,特别涉及具备检测器件的压力传感器,该检测器件包含承受来自流体的压力而发生位移的隔膜。背景技术电容式的隔膜真空计等的压力传感器将含有隔膜(ダイアフラム)的检测器件安装于测量对象的气体流通的配管等,并将承受压力的隔膜的弯曲量、即位移转换为静电容量值,根据静电容量值输出压力值。该压力传感器由于气体种类依赖性较小,因此以半导体设备为代表,在工业用途上被广泛地使用(参照专利文献1)。如图4所示,上述的隔膜真空计等的压力传感器的检测器件具有:承受来自测量对象的压力的隔膜302;以及在俯...
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