技术编号:15162610
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及一种单晶晶向的测试方法,具体涉及一种利用拉曼光谱仪确定纤锌矿单晶(例如AlN单晶、GaN单晶等)的m向(或a向)和c向的测试方法及系统。背景技术对于单晶而言,不同的晶粒具有不同的晶向,不同的晶向拥有不同的绒面特性,继而产生了不同的表面性能,影响着基于单晶的器件的性能。因此,有必要对单晶晶向进行准确测试和评估。目前常用的晶向测试方法主要有如下几种:(1)X射线衍射技术(X-Ray diffraction,简称XRD),其主要根据布拉格衍射而实现,采用束斑直径一般在毫米级,测试范围是宏观级...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。