一种三维动态调节及锁紧机构的制作方法技术资料下载

技术编号:15163195

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本发明所述为一种精密机械装置,具体涉及一种三维动态调节及锁紧机构。背景技术随着光学成像系统性能的提高,对光学元件的调节功能提出了进一步的要求:不仅要求光学元件的调节精度达到微米甚至亚微米级;还对调节机构的动态响应时间提出更高的要求;同时对调节机构的空间尺寸要求更加紧凑。在光学成像系统中,常见的一种对光学元件进行位置调节为沿光轴Z向位移调节和X/Y向的倾斜调节。为实现光学元件的相应调节,常见的机构为利用直线导轨实现Z向位移调节和利用三点楔块机构实现光学元件X/Y向的倾斜调节,将两种机构合并组合使用...
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