技术编号：15163357
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻装置及物品的制造方法。背景技术为了提高半导体器件或液晶显示元件等器件的生产率，对在这些器件的制造中使用的曝光装置等光刻装置要求高吞吐量。于是，促进了光刻装置中使用的基板载台的高加速度化。为了实现基板载台的高加速度化，除基板载台的轻量化之外，将在基板载台上用于保持基板的卡盘轻量化(薄型化)也是有效的。另一方面，近年来，为了提高器件的生产率，基板的大型化也不断发展，与之相伴，卡盘的大型化也不断发展。此外，在光刻装置中，为了应对器件的高集成化以及微小化，高NA(numerical a...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。