技术编号:15166720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件制造技术领域,具体涉及一种基于氧化铪薄膜的稳定过渡族氧化物表面导电层的方法。背景技术随着工业数字化、智能化发展,传感器在机械加工、温度监测、可穿戴设备和智慧交通中得到了广泛的应用。过渡族氧化物作为其中重要的敏感元件,一直以来都受到广泛的研究。过渡族氧化物本身是一种绝缘材料,具有钙钛矿型结构,通过表面改性可实现物理性能的调控,离子注入是表面改性常用的一种方法,通过离子轰击过渡族氧化物可以形成表面导电层,具有表面电导可控、迁移率高、操作简便等优点;在光电传感器、气体传感器、压电转...
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