技术编号:15171280
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及甲硅烷热分解制多晶硅生产领域,尤其涉及一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉。背景技术多晶硅(polycrystalline silicon)是单质硅中的一种特殊形态,在过冷的条件下,熔融状态的单质硅发生凝固现象,凝固后的硅原子以金刚石晶格的形态排列成许多晶核,而且这些晶核生长成的晶粒晶面取向不同,当这些晶面取向不同的晶粒结合在一起时就是多晶硅。多晶硅可以用来生产单晶硅,在现代工业中有着广泛的应用,是光伏技术、电子信息技术的重要原材料,直接关系着信息领域和能源领域的发展。根据纯度高低,多晶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。