技术编号:15181780
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜设备领域,更具体地说,涉及一种线性蒸发源及连续式蒸镀设备。背景技术镀膜在现在生活中越来越常见,例如为了防止手机、平板电脑和智能手表等电子产品的触摸屏上留下指纹,需要在触摸屏上堵上一层具有疏油、疏水的防指纹膜。一般地,防指纹膜可以使用涂覆法或者真空蒸镀法进行制备。单体真空腔体蒸镀法是目前商业大规模应用的方案。在使用该蒸镀发是,待蒸镀成防指纹膜的高分子材料蒸发源被制备封装成小坩埚样式置于真空腔体中,通过电子束轰击加热蒸发源将高分子材料蒸发到玻璃或者其他基底上,可通过玻璃基底的旋转来...
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