技术编号:15181790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域,尤其是一种太阳能电池片双面镀膜的平板式PECVD机台。背景技术在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片,目前绝大多数都采用硅片制成。光伏电池生产过程中,目前高效电池片的技术中PERC工艺已经得到广泛推广,PERC工艺技术需要沉积三次不同的膜层来完成正面和背面的钝化,即背面AL2O3、...
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