技术编号:15187694
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微细超声加工技术领域,具体涉及一种快速调整工具头和工件平行度的装置及其方法。背景技术微细超声加工原理是通过工具头的超声振动带动研磨液中的磨粒冲击工件表面,从而加工出所需要的微结构。工具头对工件的宏观作用力和热影响极小、且工件不受材料是否导电的限制,该技术广泛应用于各种硬脆材料的加工。为了提高加工效率,超声加工工具头的尺寸逐渐扩大,在加工前保证工具头和工件平行问题显得越来越突出。如果平行度差,将严重影响工件表面的加工精度,尤其是当工具头和工件之间的间隙超过磨粒尺寸时(一般为3-5μm),...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。