一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构的制作方法技术资料下载

技术编号:15200323

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本发明涉及一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构,属于保温结构技术领域。背景技术MEMS惯性器件成本低、体积小、功耗小、易于数字化等特点使其在捷联惯性测量系统中日益受到重视,应用广泛,涉及多个军民应用领域。然而,MEMS 惯性器件尤其是MEMS陀螺仪存在精度低、漂移大等缺点,严重影响了系统测量精度及测试性能。全温范围内,MEMS惯性器件的精度并不高,长时间工作时,环境温度会带来零位漂移,对MEMS惯性器件的精度产生直接影响。因此,保持MEMS惯性器件工作在合适的稳定的温度环境下,是解决精度问...
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