一种高效率、低成本的微腔耦合系统及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:15201705

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本发明涉及微腔耦合系统,尤其涉及一种高效率、低成本的微腔耦合系统及其制备方法。背景技术以回音壁模式(WGM)工作的光学微腔,凭借其高品质因数,较小的模体积,且制备较为简单等优势,在近些年受到了广泛关注。基于光学微腔研发的器件已在基础科学研究和光电技术研发领域发挥了不可替代的作用。然而,在片上器件与光学系统之间实现充分有效地信息交换仍是一大难点,时下常见的耦合方式则仍存在着各自的弊端。目前国内外研究的光学微腔的主要形式有微球,微芯环,微盘和微环等。微球谐振腔的体积一般比较大,可以达到较高的品质因子...
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