技术编号：15201978
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于对准键合技术领域，涉及一种用于MEMS器件制作的对准键合装置。背景技术MEMS的英文全称是：Micro-Electro-Mechanical Systems，一般也称作微机电系统，微机电系统是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS技术是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，...
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